Class100百級無塵潔凈烤箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。配置氮?dú)饨涌?，使用前可向柜?nèi)充入氮?dú)狻?a href="http://degp.cn/article/SK-323.html">三清儀器潔凈烤箱在普通的環(huán)境下，能夠確?？鞠鋬?nèi)部的潔凈等級達(dá)到Class 100。

潔凈烤箱的溫控系統(tǒng)采用智能控制系統(tǒng)，可預(yù)編120個(gè)程式，每個(gè)程式最大可編99段，共1200段，歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)。使用可控硅加雙SSR輸出，溫度可控性能更好。采用平面水平由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))，過濾效率99.99%，內(nèi)部的潔凈等級達(dá)到Class 100。