氮?dú)夤?/a>通過外置氮?dú)鈿庠闯淙氲獨(dú)夤駜?nèi)部，置換出原有的空氣，可以迅速的降低氮?dú)夤駜?nèi)部的相對濕度值及氧含量。可以為Wafer晶圓提供一個良好的存儲環(huán)境，確保物料存儲的安全。氮?dú)夤竦牡獨(dú)鈿庠匆话阌袃煞N實(shí)際的應(yīng)用場景，一種是連接外置的氮?dú)鈿馄浚硗庖环N是連接至工廠提前布置好的氮?dú)夤艿郎?。不管是哪種方式，我們都需要確保氮?dú)獾募兌群偷獨(dú)獾膲毫?，前者純度過低的話，可能達(dá)不到預(yù)期的要求，后者壓力過大的話，會造成氮?dú)獾臉O大浪費(fèi)。

對于氮?dú)獾募兌龋覀兺扑]的是至少99.99%純度以上，如果要求不高或者是其他行業(yè)，也可以使用99.9%純度的氮?dú)?。至于氮?dú)夤竦牡獨(dú)膺M(jìn)氣壓力，三清儀器智能節(jié)氮型氮?dú)夤裢扑]進(jìn)氣壓力調(diào)節(jié)為0.2MPA左右較為合適。因?yàn)榈獨(dú)夤裰皇且粋€密封性較好的柜體，相對于壓力容器來說，他的承壓性能較差。當(dāng)?shù)獨(dú)獬淙胂潴w內(nèi)時，箱體內(nèi)部會存在一個微正壓的狀態(tài)，此時箱內(nèi)原有的空氣開始置換出去。如果氮?dú)膺M(jìn)氣壓力過大的話，箱內(nèi)正壓就會增大，此時空氣被置換的同時，氮?dú)庖矔恢脫Q出去，這樣就會造成氮?dú)庀牡睦速M(fèi)，所以不推薦氮?dú)夤襁M(jìn)氣壓力過大。