晶圓通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數(shù)以百萬計的晶體管，被廣泛應(yīng)用于集成電路的制造。切片后的晶圓片十分脆弱，稍不注意可能會被毀壞，由于成本較高需要放置在CASSETTE提籃或晶舟盒內(nèi)存放，再者為了避免長期暴露在空氣中發(fā)生氧化及被顆粒物污染，需要使用不銹鋼氮?dú)夤?/a>來保管存儲晶圓片CASSETTE。

三清儀器智能不銹鋼材質(zhì)氮?dú)夤?/a>，潔凈等級高，自身不產(chǎn)塵，在千級或百級無塵室中，專門用來存儲晶圓的CASSETTE，智能供氮控制系統(tǒng)，配合多點(diǎn)供氣氣路，可大大的節(jié)約氮?dú)獾南那夷艽_保氮?dú)夤駜?nèi)部的氮?dú)夥植季鶆驘o死角?？氐獧C(jī)芯采用金屬外殼（或SUS304不銹鋼）制作。內(nèi)置進(jìn)口配件，性能穩(wěn)定可靠，不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng)，當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時，系統(tǒng)會自動切斷氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)箱內(nèi)的濕度超過設(shè)定值時，系統(tǒng)會自動打開氮?dú)夤?yīng)來降低箱體內(nèi)的濕度和氧含量。多點(diǎn)均勻式供氣系統(tǒng)，防止氣體過沖給存放的物料帶來破壞性的影響及確保箱體內(nèi)的氮?dú)饩鶆蛐?，箱?nèi)無氮?dú)馑澜牵乐刮锪鲜艹毖趸?，更好的保護(hù)存放的物料。