PI/BCB膠常用于粘貼晶圓基板或柔性電路板在治具上，從而進行印刷、貼片、測試等一系列工序，它的固化工藝需要在無塵無氧的環(huán)境下進行，并通入氮氣保護，使用百級潔凈烘箱的多段溫度控制儀表分段設(shè)定溫度，首先使膠在基板上分布均勻，然后充分的揮發(fā)，最后在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)的PI/BCB膠薄膜，從而完成固化工藝。
三清儀器（SOODKING）品牌潔凈烘箱（無塵烘箱）SK系列采用獨特的內(nèi)外艙一體結(jié)構(gòu)，結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進行自凈化過濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的潔凈無塵高溫烘烤環(huán)境。產(chǎn)品具有內(nèi)部潔凈，自身不產(chǎn)塵，控溫精準，溫場分布均勻等眾多優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于精密電子制造，半導(dǎo)體晶圓制造，大規(guī)模集成電路，生物制造、潔凈實驗室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域。
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型號
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SKCOL-2
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SKCOL-3
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SKCOL-4
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SKCOL-5
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潔凈度
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Class 100 百級無塵潔凈烘箱
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電源
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380V 50HZ
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功率
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7.5 KW
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10.5 KW
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11 KW
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17 KW
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工作環(huán)境溫度
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5℃ - 35℃
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性 能 |
溫度范圍
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+60℃ - +300℃
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溫度波動度
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±0.5℃
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溫度均勻性
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200℃ ±3℃ / 300℃ ±4℃
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升溫時間
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40分鐘以內(nèi) （室溫-300℃）
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結(jié) 構(gòu) |
外殼
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防銹處理冷軋鋼板 內(nèi)外表面靜電噴塑處理
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內(nèi)膽
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SUS304 優(yōu)質(zhì)不銹鋼
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隔熱材料
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玻璃棉
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加熱器
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覆套式電熱器
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進氣口
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6 MM
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出氣口
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5 MM 自動開啟排風(fēng)閥門
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溫度控 制系統(tǒng) |
調(diào)節(jié)方式
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PID 控制方式
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運轉(zhuǎn)方式
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定值運轉(zhuǎn) 程序運轉(zhuǎn)
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設(shè)定范圍
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0 ℃ - 300 ℃
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設(shè)定方式
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數(shù)字式
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顯示方式
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LED數(shù)字顯示 觸摸屏顯示
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傳感元件
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K型熱電偶
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安全保護
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輸入斷線檢測功能 上限溫度過熱報警 蜂鳴器報警 自行診斷
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定時功能
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0.1 - 999.9 H
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安全裝置
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電機溫度保護開關(guān) 溫度保險絲 獨立防止溫度過升裝置
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隔板承載
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30 KG
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內(nèi)容積
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180 L
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270 L
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480 L
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980 L
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重量
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260 KG
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320 KG
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450 KG
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730 KG
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內(nèi)部尺寸 mm
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W600 H600 D500
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W600 H900 D500
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W800 H1000 D600
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W1400 H1000 D700
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外部尺寸 mm
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W950 H1510 D855
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W950 H1810 D855
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W1290 H1790 D955
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W1950 H1790 D1055
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配件
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隔板
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2 PCS
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說明書
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1 冊
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選購件
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程序溫控儀 觸摸屏 三色報警燈 計時器等
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