晶圓制造的過程工業(yè)非常復(fù)雜，需要在一個(gè)無塵的環(huán)境中，因?yàn)槲⑿〉念w粒物就能引起電子組件與電路的缺陷，所以在晶圓生產(chǎn)制造和封裝的時(shí)候需要時(shí)候Class100無塵潔凈烘箱，又稱晶圓無塵箱來輔助工作，保證晶圓的品質(zhì)。三清儀器百級(jí)潔凈烘箱經(jīng)過高效耐高溫過濾器反復(fù)的進(jìn)行空氣過濾，可以達(dá)到Class100的潔凈環(huán)境。

晶圓無塵箱設(shè)備包括金屬板箱、加熱系統(tǒng)、熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、充氮系統(tǒng)和安全保護(hù)系統(tǒng)。采用先進(jìn)的鈑金焊接加工技術(shù)，結(jié)合工業(yè)級(jí)智能精密溫控技術(shù)，環(huán)保節(jié)能設(shè)計(jì)，進(jìn)口耐高溫過濾器，設(shè)備密封性好，機(jī)械強(qiáng)度高，清潔度高，操作方便，穩(wěn)定性高安全，標(biāo)準(zhǔn)化的一體化結(jié)構(gòu)箱體，符合國際審美觀，操作簡單，控制系統(tǒng)和系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，運(yùn)行穩(wěn)定，無故障運(yùn)行時(shí)間長，產(chǎn)品達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。外箱采用1.2mm厚3A冷軋鋼板靜電雙面噴塑而成。內(nèi)襯材料為1.2mm~1.5mm厚SUS304×鏡面清潔不銹鋼板。保溫材料為100厚120K高密度硅酸鋁纖維保溫材料。采用進(jìn)口溫控器，控溫精度0.3級(jí)，溫度分辨率±0.1℃，PID智能計(jì)算，自動(dòng)恒溫，超溫抑制，傳感器斷線報(bào)警，斷電記憶，控溫精確，操作簡單，可選程序溫控功能或液晶屏顯示。采用高溫高效過濾器，過濾等級(jí)H13（99.95%-99.99%@0.3um）。采用進(jìn)口耐高溫超細(xì)纖維芯材，連續(xù)耐溫300℃，不銹鋼框架，鋁箔夾層，進(jìn)口高溫陶瓷膠封。門框采用玻璃纖維耐高溫密封條。設(shè)備開機(jī)后，啟動(dòng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，熱風(fēng)循環(huán)通過高效過濾器h.e.p.a實(shí)現(xiàn)箱內(nèi)自凈。