依據(jù)GB/T 14264-2009半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)，GB/T 25915.1-2010潔凈室及環(huán)境要求，由于晶圓Wafer是極易氧化的，所以它對(duì)存儲(chǔ)的環(huán)境要求是無(wú)氧環(huán)境，溫度不高于25℃。且處于Class 100無(wú)塵環(huán)境中，潔凈等級(jí)要求較高，推薦使用三清儀器品牌雙鏡面不銹鋼氮?dú)夤?/a>。
智能節(jié)約型氮?dú)夤窨刂葡到y(tǒng)采用SMC電磁閥，無(wú)噪音壽命長(zhǎng)，切斷和打開氮?dú)忪`活，不受周邊設(shè)備輻射的影響。采用多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，不銹鋼層板密布透氣孔，保證空氣流通，使得氮?dú)庠诘獨(dú)夤駜?nèi)的分布均勻，配合高端水晶流量計(jì)，防止氣體過(guò)沖吹散體積較小的物料。根據(jù)不同的物料標(biāo)準(zhǔn)可選擇相對(duì)濕度或者氧氣含量控制氮?dú)獾妮敵龊颓袛?。氧化性較強(qiáng)的物料，可加裝氮?dú)夤耖T打開立即強(qiáng)制氮?dú)夤?yīng)，確保物料安全無(wú)虞。可加裝更可選配軟件記錄系統(tǒng)，節(jié)省人力查抄溫濕度記錄值，方便實(shí)時(shí)查看物料存放的溫濕度環(huán)境值。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
