8英寸Cassete氮氣存儲保護柜,12英寸Cassete氮氣存儲保護柜使用優(yōu)質雙鏡面不銹鋼制作,可選201或者304規(guī)格不銹鋼板材。配置節(jié)氮裝置,智能控制氮氣的供應與切斷??蛇x更多功能如濕度超標聲光報警,柜門未關好報警,濕度誤差校準等。氮氣柜尺寸可根據(jù)晶圓盒的尺寸和存儲的數(shù)量來訂制。晶圓盒的氮氣柜濕度控制范圍在1% - 60%RH區(qū)間可任意調節(jié),當濕度達到用戶設定值時會自動切斷氮氣供應。開啟箱門之后,濕度上升超過用戶設定值,氮氣會自動打開供應,快速除濕,將濕度穩(wěn)定在預設值內。需要注意的是,正常設置的氮氣柜,斷電后電磁閥默認處于關閉狀態(tài),即斷電后氮氣處于關閉狀態(tài)。此設置可能不適合部分場景應用,針對此類情況,三清儀器氮氣柜可修改為斷電后,氮氣默認處于一直供氣的狀態(tài),以此來保護物料的安全。缺點是氮氣的消耗量會增加。

產(chǎn)品容積 內徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組