微電子半導(dǎo)體行業(yè)使用的Wafer晶圓屬于一種易氧化的物質(zhì)，在使用或存儲(chǔ)的過(guò)程中都需要處于無(wú)氧干燥的環(huán)境下進(jìn)行。三清儀器智能節(jié)約型氮?dú)夤?/a>專為晶圓存儲(chǔ)而設(shè)計(jì)，鏡面不銹鋼材質(zhì)，適用于潔凈室。三清儀器氮?dú)夤?a href="http://degp.cn/category/constant/">干燥箱工作室經(jīng)過(guò)滿焊打磨，涂抹高溫膠，氮?dú)庀牧亢谩?

氮?dú)夤袷浅丨h(huán)境下，把氮?dú)鉀_入柜體內(nèi)（氮?dú)饧兌韧扑]99.99%以上），降低柜內(nèi)的相對(duì)濕度和氧含量，給Wafer晶圓提供一個(gè)良好的存儲(chǔ)環(huán)境。內(nèi)置SMC電磁閥，性能穩(wěn)定可靠，壽命長(zhǎng)。多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，，使得氮?dú)夥植几泳鶆?，保護(hù)性更好。根據(jù)用戶的設(shè)定值，氮?dú)夤褡詣?dòng)打開(kāi)和切斷氮?dú)夤?yīng)，節(jié)約成本。一般情況下用戶的Wafer都是使用Cassette周轉(zhuǎn)移動(dòng)，按照12寸13槽的晶圓Wafer Cassette的尺寸來(lái)計(jì)算，長(zhǎng)寬約為400mm，高度約為190mm。以三清儀器品牌智能氮?dú)夤?/a>1436升6門為例，柜門開(kāi)口尺寸為545mm，門內(nèi)高度500mm，放置一層隔板，每層高度約為240mm，即一層隔板可以放置2盒Cassette，一臺(tái)1436升智能氮?dú)夤窆灿?jì)放入12盒晶圓花籃。

氮?dú)飧稍锵涫强梢蕴峁囟拳h(huán)境的作業(yè)設(shè)備，在高溫環(huán)境下沖入氮?dú)?，確保晶圓高溫環(huán)境下不被氧化。出風(fēng)口和進(jìn)風(fēng)口均被可調(diào)節(jié)風(fēng)口封閉，確保氮?dú)獠煌庑?。根?jù)用戶的實(shí)際需求，還可以選擇Class 1000及Class 100的無(wú)塵潔凈烘箱。