氮?dú)夤?/a>是一種密封性良好的柜體,通過(guò)充入高純度氮?dú)鈦?lái)降低柜內(nèi)的氧含量,使得柜體內(nèi)部處于一個(gè)惰性氣體的氛圍,用來(lái)保存各類(lèi)活性度較高的物料。氮?dú)夤裨诎雽?dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的非常廣泛,主要用來(lái)存儲(chǔ)Wafer晶圓,防止其暴露在空氣中發(fā)生氧化。

常見(jiàn)的氮?dú)夤?,按材質(zhì)分類(lèi)約分為冷軋板噴塑材質(zhì),不銹鋼材質(zhì)及透明亞克力板材質(zhì)。按氮?dú)饪刂品绞郊s分為氮?dú)庵睕_型,濕度控制型,壓力控制型。材質(zhì)上冷軋板靜電噴塑和不銹鋼材質(zhì)均為金屬材質(zhì),相對(duì)來(lái)說(shuō)不銹鋼的潔凈等級(jí)更高,適用于百級(jí)或千級(jí)無(wú)塵室內(nèi)使用。透明亞克力板材質(zhì)使用金屬骨架固定或板材焊接而成,一般適應(yīng)于實(shí)驗(yàn)室或小型物料的存放。為了更好的搭配空間的布局,金屬材質(zhì)的氮?dú)夤袷袌?chǎng)占有率要遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于亞克力板材的氮?dú)夤竦?。無(wú)論從耐用性,承重性及后期維護(hù)的便利性金屬材質(zhì)的氮?dú)夤褚獌?yōu)于透明亞克力板材質(zhì)的氮?dú)夤瘛?

氮?dú)饪刂品绞?,最原始的氮?dú)庵睕_型,氮?dú)庀牧孔畲笄覠o(wú)數(shù)據(jù)直觀顯示,近年逐步被替換成濕度或氧含量控制氮?dú)夥绞?。?dāng)下市場(chǎng)最普及的濕度控制氮?dú)夥绞讲粌H可以節(jié)約氮?dú)?,相?duì)濕度顯示,直觀明了??梢愿鶕?jù)的要求設(shè)置濕度值或氧含量,滿(mǎn)足物料存放的環(huán)境值。相對(duì)于壓力控制型氮?dú)夤?,濕?氧含量控制型氮?dú)夤?,更加直觀,簡(jiǎn)單且比壓力控制氮?dú)夤窀庸?jié)約氮?dú)夤瘛?

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開(kāi)門(mén)方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開(kāi)門(mén)
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開(kāi)門(mén)
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開(kāi)門(mén)
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開(kāi)門(mén)
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開(kāi)門(mén)
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開(kāi)門(mén)
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開(kāi)門(mén)
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開(kāi)門(mén)
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開(kāi)門(mén) / 六開(kāi)門(mén)
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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