微電子半導(dǎo)體行業(yè)使用的材料Wafer，存放的時(shí)候需要防止其氧化變質(zhì)，故需要放在氮?dú)夤?/a>內(nèi)保存。普通的直沖型(不銹鋼)氮?dú)夤?，由于沒(méi)有氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)及柜內(nèi)環(huán)境的檢測(cè)系統(tǒng)，氮?dú)馓幱谝恢毕牡臓顟B(tài)，使用成本非常高。三清儀器的節(jié)約型氮?dú)夤瘢啾绕胀ǖ獨(dú)夤窨晒?jié)約80%的氮?dú)庀牧?，也可以在原有的普?不銹鋼)氮?dú)夤裆仙?jí)改造氮?dú)夤?jié)約系統(tǒng)。
節(jié)約型氮?dú)夤窨刂葡到y(tǒng)可檢測(cè)柜內(nèi)的濕度環(huán)境或者氧含量值，通過(guò)精密傳感器采集的數(shù)據(jù)反饋到微電腦系統(tǒng)，由微電腦系統(tǒng)控制氮?dú)獾墓?yīng)或停止，實(shí)現(xiàn)氮?dú)夤竦牡獨(dú)庀拈]環(huán)控制。三清儀器(不銹鋼)氮?dú)夤褡詭У獨(dú)夤?jié)約系統(tǒng)，在非三清儀器的氮?dú)夤裆?，也可以加裝氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)，實(shí)現(xiàn)節(jié)約氮?dú)獾哪康摹?
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開(kāi)門(mén)方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開(kāi)門(mén) |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開(kāi)門(mén) |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開(kāi)門(mén) |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開(kāi)門(mén) |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開(kāi)門(mén) / 六開(kāi)門(mén) |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
