晶圓Wafer作為微電子集成電路里面的核心材料，是經(jīng)過非常復(fù)雜的前段工序而得到的，所以晶圓片的生產(chǎn)成本非常高。它在周轉(zhuǎn)過程中很容易出現(xiàn)被碰傷、刮花、缺角等問題，所以對Wafer的保護也是每一家半導(dǎo)體企業(yè)不能忽視的。晶圓載具Cassette用于對晶圓片的隔離保護，防止產(chǎn)品在周轉(zhuǎn)存儲過程中出現(xiàn)的一系列問題。晶圓在儲存的時候也是直接在Cassette中放入氮氣柜中的，為了提高氮氣柜的空間使用率，三清儀器提供最適應(yīng)的氮氣柜型號。

我們按照12寸13槽的晶圓Wafer Cassette的尺寸來計算，長寬約為400mm，高度約為190mm。以三清儀器品牌智能氮氣柜1436升6門為例，柜門開口尺寸為545mm，門內(nèi)高度500mm，放置一層隔板，每層高度約為240mm，即一層隔板可以放置2盒Cassette，一臺1436升智能氮氣柜共計放入12盒晶圓花籃。一臺870升三清儀器氮氣柜，同樣可以放入12盒，空間利用率比1436升氮氣柜的利用率要高。同時我們考慮氮氣柜內(nèi)的氮氣流通和方便存放及取物所需要的空間，三清儀器推薦選擇1436升全自動智能氮氣柜來存放晶圓Cassette和晶舟盒。也可以根據(jù)客戶的實際需求來定制尺寸和功能。