工業(yè)生產(chǎn)中,常見(jiàn)的膠水固化流程一般是先在半導(dǎo)體微電子的芯片表面涂覆一層粘附劑,方便膠水的粘合,再在半導(dǎo)體微電子芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)膠,然后將涂覆好膠水的半導(dǎo)體微電子芯片放入無(wú)氧干燥箱烤箱中等待固化。這個(gè)過(guò)程中需要注意充入氮?dú)饣蚱渌栊詺怏w保護(hù)。按照流程,設(shè)置好無(wú)氧烤箱的加熱溫度和時(shí)間。先低溫使膠水分布均勻和充分揮發(fā),再高溫下讓膠水固化,在芯片表面形成一層膠膜,等待冷卻后,取出樣品即可。
根據(jù)填充膠固化的工藝要求,無(wú)氧固化烤箱干燥箱必須是溫度均勻性較好的。否則會(huì)導(dǎo)致膠水受熱不均勻固化后產(chǎn)生起泡和支架襯底加熱后后不平整等問(wèn)題,烤箱干燥箱的風(fēng)道循環(huán)對(duì)溫度均勻性起著至關(guān)重要的作用,合理的風(fēng)道設(shè)計(jì)搭配超靜音的風(fēng)機(jī),讓無(wú)氧干燥箱內(nèi)的溫度誤差小,均勻性好。固化過(guò)程中不同的階段,溫度和時(shí)間都不相同,應(yīng)該嚴(yán)格控制好加熱的時(shí)間,時(shí)間太短的話,膠水可能稍微完全固化,時(shí)間太長(zhǎng)可能會(huì)導(dǎo)致膠水硬化,會(huì)出現(xiàn)開裂脫膠等現(xiàn)象。三清儀器程序溫度控制器可實(shí)現(xiàn)多段溫度時(shí)間控制,滿足客戶的需求。
此外無(wú)氧固化干燥箱還應(yīng)該充分考慮冷卻速度和潔凈等級(jí),還可以加裝氧含量檢測(cè)儀,實(shí)時(shí)了解干燥箱內(nèi)的氧含量,充分保護(hù)物料的安全。三清儀器無(wú)氧固化干燥箱可按客戶實(shí)際的需求和不同物料的要求支持定制。