隨著半導(dǎo)體微電子的全速發(fā)展，微電子芯片的防氧化防護(hù)對(duì)成品芯片的品質(zhì)起著關(guān)鍵性的作用。氮?dú)夤?/a>可以利用外接高純度氮?dú)?，充入柜?nèi)，降低柜內(nèi)的氧含量且可控制。全天候保護(hù)微電子芯片的品質(zhì)安全。
氮?dú)夤裥枰饨痈呒兌鹊獨(dú)獠趴梢允褂茫獨(dú)夤癖旧頍o(wú)法產(chǎn)生氮?dú)?。市?chǎng)上部分氮?dú)夤褡詭У獨(dú)獍l(fā)生器，一般氮?dú)饧兌葻o(wú)法得到保證，氧含量和濕度無(wú)法完美的控制，推薦使用外購(gòu)的高純度氮?dú)?，推薦使用99.99%純度以上的氮?dú)?。純度低的氮?dú)馑碾s質(zhì)較多，長(zhǎng)時(shí)間使用會(huì)損壞氮?dú)夤窨刂葡到y(tǒng)內(nèi)置的進(jìn)口電磁閥。智能氮?dú)夤?/a>根據(jù)相對(duì)濕度或者氧含量自動(dòng)判斷氮?dú)馐欠裥枰?yīng)，氮?dú)饨?jīng)過(guò)流量計(jì)，達(dá)到氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)，再分散均勻的進(jìn)入氮?dú)夤駜?nèi)。防止氮?dú)膺^(guò)沖或者損壞流量計(jì)，推薦使用0.2Mpa-0.4Mpa的進(jìn)氣壓力。
| 產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸（MM） | 外形尺寸（MM） | 隔板數(shù)量 | 開(kāi)門(mén)方式 |
| 98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開(kāi)門(mén) |
| 160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開(kāi)門(mén) |
| 240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
| 320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
| 435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開(kāi)門(mén) |
| 540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開(kāi)門(mén) |
| 718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開(kāi)門(mén) |
| 870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開(kāi)門(mén) |
| 1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開(kāi)門(mén) / 六開(kāi)門(mén) |
| 濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度：±1℃ 濕度：±3%RH | |
| 進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng)，SMC節(jié)氮模組 | |
