目前半導(dǎo)體企業(yè)的使用的大量氮?dú)夤?/a>都是氮?dú)庵背湫停ㄟ^流量計調(diào)節(jié)氮?dú)膺M(jìn)氣量大小，24小時不間斷的供應(yīng)氮?dú)狻Ｒ话愕獨(dú)饬髁吭O(shè)置為2L/M（升每分鐘），日積月累下來氮?dú)獾南牧窟^大，成本過高。且2L/M的流量，在打開氮?dú)夤窆耖T后，恢復(fù)到目的濕度值或氧含量值時間較長，為了更好的保護(hù)Wafer晶圓片，需要進(jìn)行技術(shù)改造。三清儀器智能節(jié)約型氮?dú)夤窨刂葡到y(tǒng)，使用進(jìn)口的SMC電磁閥 ，配溫濕度或氧含量的傳感器采集數(shù)據(jù)，然后反饋至微電腦控制系統(tǒng)來控制電磁閥的打開與切斷從而達(dá)到可以根據(jù)濕度或氧含量的目標(biāo)值來控制氮?dú)獾那袛嗯c供應(yīng)，達(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牡哪康?，且?shù)據(jù)可視化，操作方便簡單。目前在許多12寸晶圓廠得到廣泛的應(yīng)用。

獨(dú)立的鏡面不銹鋼工藝制成的控制盒，集成控氮系統(tǒng)和數(shù)顯功能，可直接放置在氮?dú)夤竦捻敳炕蚱渌付ㄎ恢?。按鍵操作，用戶自行設(shè)定濕度或氧含量數(shù)據(jù)，報警數(shù)據(jù)等，達(dá)到設(shè)定值后即可自動切斷氮?dú)夤に噥磉_(dá)到節(jié)約氮?dú)庀牡哪康摹５獨(dú)膺M(jìn)氣管路可做多路氣管，分散放置，確保氮?dú)夤窆駜?nèi)的氮?dú)夥植季鶆?。傳感器使用引線傳入氮?dú)夤駜?nèi)部，位置可自由放置。配置高端的流量計且流量可調(diào)，使用該系統(tǒng)后，氮?dú)獾南牧亢偷獨(dú)饬髁康拇笮o直接聯(lián)系，和用戶的設(shè)定值等環(huán)境因素相關(guān)。該系統(tǒng)具有誤差調(diào)節(jié)功能，485或232通訊功能，超標(biāo)報警等實用的功能，方便用戶選擇。