晶圓片是半導(dǎo)體晶體管或集成電路的基板。襯底材料包括硅、鍺、GaAs、InP、Gan等,由于硅是最常用的材料,如果沒有具體的晶體材料,通常是指硅片。它可以在硅片上加工成各種電路元件結(jié)構(gòu),成為具有特定電氣功能的集成電路產(chǎn)品。半導(dǎo)體晶圓防氧化氮?dú)夤?/a>,又稱晶圓存儲柜,向內(nèi)部充入高純度氮?dú)?,有效的降低防氧?a href="http://degp.cn/category/nitrogen/">氮?dú)夤?/a>內(nèi)部的相對濕度值和氧含量值,適合存放半導(dǎo)體晶圓片。
三清儀器晶圓存儲柜,按材質(zhì)分類可以分為冷軋鋼板靜電噴塑機(jī)型和不銹鋼材質(zhì)機(jī)型,半導(dǎo)體行業(yè)一般都是潔凈無塵室,所以推薦潔凈度更高的不銹鋼材質(zhì)晶圓存儲柜。由1.2mm優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼鋼板,經(jīng)過雙鏡面工藝加工而成。加強(qiáng)設(shè)計,結(jié)構(gòu)牢固,承重性能和箱體氣密性優(yōu)越。門窗鑲嵌高強(qiáng)度鋼化玻璃,平面加壓把手設(shè)計。安裝導(dǎo)靜電萬向腳輪,方便移動和定位,配備高端氮?dú)膺M(jìn)氣流量計,氮?dú)饬髁看笮】烧{(diào)節(jié)。內(nèi)置進(jìn)口電磁閥,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮?dú)夤?yīng),達(dá)到氮?dú)夤?jié)約的目的。
產(chǎn)品容積 | 內(nèi)徑尺寸(MM) | 外形尺寸(MM) | 隔板數(shù)量 | 開門方式 |
98升 | W446*D372*H598 | W448*D400*H688 | 1 | 單開門 |
160升 | W446*D422*H848 | W448*D450*H1010 | 3 | 單開門 |
240升 | W596*D372*H1148 | W598*D400*H1310 | 3 | 上下雙開門 |
320升 | W898*D422*H848 | W900*D450*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
435升 | W898*D572*H848 | W900*D600*H1010 | 3 | 左右雙開門 |
540升 | W596*D682*H1298 | W598*D710*H1465 | 3 | 上下雙開門 |
718升 | W596*D682*H1723 | W598*D710*H1910 | 5 | 上中下三開門 |
870升 | W898*D572*H1698 | W900*D600*H1890 | 5 | 四開門 |
1436升 | W1198*D682*H1723 | W1200*D710*H1910 | 5 | 四開門 / 六開門 |
濕度范圍 | 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) | 顯示精度 | 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH | |
進(jìn)氣壓力 | 0.2 - 0.4 MPa | 節(jié)氮模組 | 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組 |