晶圓片是半導(dǎo)體晶體管或集成電路的基板。襯底材料包括硅、鍺、GaAs、InP、Gan等,由于硅是最常用的材料,如果沒有具體的晶體材料,通常是指硅片。它可以在硅片上加工成各種電路元件結(jié)構(gòu),成為具有特定電氣功能的集成電路產(chǎn)品。半導(dǎo)體晶圓防氧化氮?dú)夤?/a>,又稱晶圓存儲柜,向內(nèi)部充入高純度氮?dú)?,有效的降低防氧?a href="http://degp.cn/category/nitrogen/">氮?dú)夤?/a>內(nèi)部的相對濕度值和氧含量值,適合存放半導(dǎo)體晶圓片。

三清儀器晶圓存儲柜,按材質(zhì)分類可以分為冷軋鋼板靜電噴塑機(jī)型和不銹鋼材質(zhì)機(jī)型,半導(dǎo)體行業(yè)一般都是潔凈無塵室,所以推薦潔凈度更高的不銹鋼材質(zhì)晶圓存儲柜。由1.2mm優(yōu)質(zhì)SUS304不銹鋼鋼板,經(jīng)過雙鏡面工藝加工而成。加強(qiáng)設(shè)計,結(jié)構(gòu)牢固,承重性能和箱體氣密性優(yōu)越。門窗鑲嵌高強(qiáng)度鋼化玻璃,平面加壓把手設(shè)計。安裝導(dǎo)靜電萬向腳輪,方便移動和定位,配備高端氮?dú)膺M(jìn)氣流量計,氮?dú)饬髁看笮】烧{(diào)節(jié)。內(nèi)置進(jìn)口電磁閥,性能穩(wěn)定可靠,不受外界干擾。采用自動程控感應(yīng)系統(tǒng),當(dāng)箱內(nèi)的濕度達(dá)到設(shè)定值時,系統(tǒng)會自動切斷氮?dú)夤?yīng),達(dá)到氮?dú)夤?jié)約的目的。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點(diǎn)供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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